項目

指標

純氮

高純氮

超純氮

氮氣（N2）純度（體積分數(shù)）/10-2 ≥

99.99

99.999

99.9999

氫（H2）含量（體積分數(shù)）/10-6 ≤

15

1

0.1

氧（O2）含量（體積分數(shù)）/10-6 ≤

50

3

0.1

甲烷（CH4）含量（體積分數(shù)）/10-6 ≤

5

1

0.1

一氧化碳（CO）含量（體積分數(shù)）/10-6 ≤

5

1

0.1

二氧化碳（CO2）含量（體積分數(shù)）/10-6 ≤

10

1

0.1

氬（Ar）含量（體積分數(shù)）/10-6 ≤

—

—

供需雙方協(xié)商

水分（H2O）含量（體積分數(shù)）/10-6 ≤

15

3

0.5